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镀膜机自动控制有哪些元件-广东振华真空镀膜设备

镀膜机自动控制系统中,它是核心是自动控制装置(如可编程序控制器等)以及工业控制机、微型计算机、单片机等。此外,还常用到一些通用型的自动控制的元件或装置,其中包括有机械、液压、气动、电气等类型。如开关、限位开关、按钮、液压缸、液压阀、气动阀、控制电机、电机、变压器、熔断器、继电器、接触器以及信号灯等。还用到一些自动化工业仪表,如压力、温度等控制与测量的仪表。除了这些通用的自动控制装置、自动控制元件、自动仪表之外,还有专用的真空计、真空阀及对应的调节阀等。

镀膜机控制系统

1、真空继电器

该装置是一种可自动切换的开关,是根据真空装置中真空测量点气体压力的高低而接通或断开。站在其原理角度上看,除压缩式真空计外,其它真空表、真空计等均可通过配置适当的控制电路来构成真空继电器。其中,微机化真空计尤为特殊,可更方便地通过软件设定压力控制点。在真空继电器的压力控制范围内,可设定任意的压力控制点。若压力测量值等于压力设定值时,则发出相应的控制信号,断开或闭合其内部的无触点或有触点的开关,从而使压力自动控制得以实现。

2、真空计

在真空镀膜设备的自动控制系统中,常对其真空环境进行测量,由于有很多种类型的镀膜工艺,各类设备的工作压力范围也不一样,所以可能会遇到10⁻⁵Pa~10⁵Pa的各种真空室的真空测量。常用的真空计有超高真空计、电离真空计、电容薄膜真空计、热偶真空计、电阻真空计等。目前,市场上的真空计还包括遥控遥测、压力调节、RS-232C等通信接口、模拟量输出等可供用户选配的功能模块。所以一台真空计的配置较高的话,需要能实现测量准确的真空度、显示数值、自动修正误差、自动切换量程等基础功能,此外,还要求可在设定压力值发出信号去控制压力,通过压力设定值来实现自动调节压力,同时打印测量值记录出来,并联系上位机。

由于目前镀膜机自动控制元件越来越多功能化,例如大多数真空计不仅可实现基本的真空测量功能,还可进行压力的继电控制(个别专用的压力控制真空继电器除外),导致现在已经难以严格划分真空计和真空继电器之间的界限。