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气体组份对镀膜机压力测量有哪些影响-广东振华真空镀膜设备

在真空领域中,镀膜机压力测量会由于不同的气体组份而产生不同的影响。如果被测环境的气体是氮气或如氖、氦等惰性气体,则比较简单,但是,在大多情况之下,真空系统中多存在氢、氧、氮、汞、氩、氦、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、水蒸气和油蒸气等多种气体、蒸气组份,其中,尤以水蒸气、O₂以及油蒸气等组份都会影响真空计。因此,在选用设备的真空计时,要着重考虑气体组份对设备压力测量造成的影响。

1、水蒸气

(1)选用真空规:一般来说,测量可凝性的水蒸气,用U形计在粗真空区间做测量,用α规和薄膜规在低真空区间做测量,用克努曾规和粘滞规在高真空区间做测量。

(2)不可用真空规:可凝性水蒸气的压力测量通常不采用压缩式真空规。如果选择热传导真空规来对水蒸气的压力进行测量,则会如上述的测氧压一般,导致真空规的零点漂移、改变真空规灵敏度等。

2、O₂

(1)对电离规的影响:在氧气中,热阴极电离规的阴极的工作会慢慢耗损。若是在高于10⁻²Pa氧压环境中工作的话,会很快烧坏钨阴极。若是在低于10⁻³Pa的氧压环境中工作的话,钨阴极便可长期持续使用。

(2)对热传导规的影响:O₂会使热传导规的热丝发生氧化,从而使热丝的表面状态发生改变,进而改变规管的灵敏度、发生零点漂移。

(3)对压缩式真空规的影响:用压缩式真空规进行测量时,若分压过高,则会出现水银表面的氧化,导致玻璃毛细管的内表面将受污染,致使水银毛细压低值发生无规则的变化,压力测量将出现误差问题。

(4)选用真空规:此外,对于粗低真空区间,其氧压的测定最好选择薄膜规,特别是不锈钢材质的电容薄膜规。另外也可选择α规、β规等。

3、油蒸气

(1)对电离规的影响:用电离规进行的话,其环境中的油蒸气受高温阴极表面或由电子轰击的影响而发生分解,产生碳氢化合物,对管壁和电极造成污染,使电离规的特性和灵敏度出现差错。

(2)对热传导规的影响:用热传导规进行测量的话,规壁和热丝可能会吸附油蒸气,将导致表面性能的改变,进而改变规管的灵敏度、发生零点漂移。

(3)对油U形压力计的影响:用油U形压力计对油蒸气进行压力测量时,由于工作油可让油蒸气溶解,因此也难以得到精准的数据。

(4)压缩式真空规的影响:在用扩散泵、机械泵的镀膜机抽气系统中,可能存在很大分子量的有机油蒸气、油分裂物质。油蒸气压通常不高,因而压缩式真空规不适合测量该环境压力。因为若是选择压缩式真空规对机械泵的极限压力进行测量的话,其得出的数据要比热传导规测出的结果低了差不多一个数量级。

(5)选用真空规:在镀膜机压力测量中,对于粗低真空区间的油蒸气压力,可用薄膜规测量,对于高真空区间的油蒸气压力,可选择克努曾规进行压力测量。