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真空镀膜中的质谱计有哪些技术指标-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜工艺过程中,由于部分质谱计的灵敏度有很多变化因素,因而通过标准混合气体校准方法来测量系统中的浓度的方法比较常见。现今用来表征真空质谱计的性能的各项技术参数有以下几种:

1、质量范围

在一定的分辨能力以及灵敏度的条件下,质谱计能够工作的质量数下限到上限之间的范围,称为质量范围。质量范围的上限可以利用气体相对分子量接近上限的气体(如氪、氙、全氟三丁胺等)进行测定;质量范围下限常用真空设备之中的残余气体峰(如原子态氢离子峰)质量数为1来确定。可用外推法通过质量标度和扫描参数之间的关系进行计算。

2、分辨能力

分辨能力指代装置分辨M和M+△M两个相邻峰的能力。因为真空质谱计用在残气分析中,不需要具备很高的分辨能力,因此,通常在10%或50%峰高处就可以确定参考基线用以△M的测量。使用条件若较为特殊,则在1%或5%峰高处来确定参考基线,进行△M的测量。由于峰形对分辨能力的测量有很大的影响,若仅用50%峰高处的参考基线来作△M的确定并不恰当,因此,利用峰形系数(峰形系数≤2.08)来对其进行限制。

3、分压力灵敏度

分压灵敏度常数是用于衡量质谱计探头部分检测灵敏度的一项重要指标。

4、最小可检分压力

最小可检分压力是用于反映测量仪器检测离子流信号和质谱计探头的分压力灵敏度的一项综合指标。

5、最大工作压力

在不同的应用环境下,质谱计所能允许的最大工作全压力极限。一般是对质量数28的氮峰来测定这项指标的。

部分气体分析装置所给出的最大工作压力,其实是它能指示到的最大工作压力。实际上,在那种压力条件下,气体分析装置仍具有一定的分离质量的能力,灯丝也可正常工作,离子源也还存在一定的离子产额。

6、最小可检浓度

最小可检浓度指气体分析装置对多种组份的气体中所能测量的某一组份的最小值。