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镀膜设备的气泡检漏法有哪些类型-广东振华真空镀膜设备

此前我们汇总了在真空设备当中的各种检漏方法,本文主要对气泡检漏法的各种方法进行分析。气泡检漏法是属于压力检漏法的一种。它的工作过程原理就是充入一定压力的示漏气体在镀膜设备的真空室、零部件、管道内等,然后将检测部分放到液体中,由于气体会通过漏孔流动,而其周围的液体就会形成气泡,可判定在形成气泡的区域为漏孔的位置,再按气泡形成的大小、速率以及充入的气体、浸泡的液体的物理性质,可对漏孔的漏率进行大致的估算。气泡检漏法具体的操作手段有以下几种类型:

1、打气试漏法

打气试漏法是气泡检漏法常用的一种方法。打气试漏法就是在被检真空室、零部件、管道等之内充入一个高于大气压的气体,然后将该真空室或零部件、管道之内浸入液体中,进行真空检漏,此时,在浸泡液面处是一个大气压的压力。

2、外真空法

先将充有示漏气体的密封真空室、管道或设备零部件放入液体中,然后把液面上方留出的空间抽到一定的真空度,若真空室、管道或设备零部件上存在漏孔的话,在其漏孔处就比上一种方法更容易形成气泡,同样的,也是观察气泡便可将漏孔检查出来。

外真空法比之打气试漏法的检漏灵敏度要高几十倍。

3、热槽法

在大气压下将入真空室、管道或设备零部件内腔中充入示漏气体,或在高压下将低沸点的示漏液体或示漏气体通过轰击法压入密闭的真空室、管道或设备零部件内,然后在热槽中预先加热好的高沸点显示液,再将被检真空室、管道或设备零部件浸入当显示液中,被检真空室、管道或设备零部件内腔中示漏液或体气体的将受热而升压,达到被检真空室、管道或设备零部件内外出现压差的效果。用热槽法做真空检漏工作时,需注意液体温度保持低于与液体的沸点。

4、皂泡法

皂泡法属于打气试漏法中的一种。用于真空室、管道或设备零部件进行检漏时不大方便放进水槽中的情况。皂泡法的真空检测灵敏度为10⁻³Pa•L/s数量级。

皂泡法是先在真空室、管道或设备零部件内充入高于大气压压力的气体,接着在可能存在漏孔的地方涂上肥皂液,而出现肥皂泡的部位就是存在漏孔的。

注:在使用该方法时应调试肥皂液的稀稠程度,肥皂液太稀会容易流动、滴落而出现误检;若是太稠的话,液体透明度较差,会容易漏检,且当中混入的气体也可能形成气泡,最终导致误检。

气泡检漏法适用于允许承受正压的真空室、管道或设备零部件等的真空镀膜设备的气密性检验。气泡检漏法具备原理简单、操作方便、观察直观、经济低廉等优点。