真空镀膜仪常设有真空规或真空计，以便于监控设备的真空度。同时，也可通过真空规对真空室等真空容器进行真空检漏工作。本文介绍利用真空规检漏的一些方法：

1、差动真空规法

差动真空规检漏法也叫桥式真空规检漏法。它通过将两个真空规管和一个阻滞示漏气体通过的阱组合起来，以差分形式输出两个真空规的输出信号。

利用差动真空规检漏可用的规管有热阻规、冷阴极电离规、热阴极电离规以及热偶真空规。相应的示漏气体和阱有：

（1）以氢气或丁烷为示漏气体，活性炭阱；

（2）以二氧化碳为示漏气体，氢氧化钙阱。

方法优点：由于在使用中两个规管的电参数不稳定，真空抽气装置不稳定的抽速等所造成的装置噪声有补偿，所以比单管真空规法的检漏灵敏度要高很多。

2、电离真空规法

高真空系统多带有电离真空规，所以这种情况也可用电离真空规进行检漏。

3、热传导真空规法

热传导真空规包括热偶真空规和热阻真空规，热传导真空规法是在低压力下气体热传导与压力有关的性质的基础上来对真空系统内的压力进行测量的。此外，还可利用热传导真空规的读数与压力合气体组份有关的性质做真空检漏工作。在示漏物质通过漏孔进入真空系统里面时，将使系统内的压力和气体组份发生变化，改变了热传导真空规的读数，故而可测出漏孔的存在。

4、扫描方向规检漏法

在真空室内的气体分子自由程大于真空室尺寸的情况下，从真空室器壁上的漏孔进入的气流将带有分子束射效应，意味着在束流方向的气体密度要大于其它地方。在扫描方向规管口对准漏孔的情况下，就会提高指示的压力读数，故而可检测漏孔的存在并找到它的所在位置。

扫描方向规检漏法的检漏灵敏度可达10⁻⁹Pa·L·­­s⁻¹，已经相当于氮质谱检漏仪的灵敏度。

方法优点：无需使用特殊示漏气体，适合用在真空室中难以接近的部位检漏；

方法缺点：若漏孔与规管间存在障碍物，则该方法检漏可能会失效。

5、带冷吸附阱的真空规检漏器

带冷吸附阱的真空规检漏器可以通过具有吸附阱的单个真空规管进行设备的检漏。其可达10⁻⁸Pa·L/s~10⁻¹⁰Pa·L/s数量级的灵敏度。

特点：结构简单、灵敏度高于氢钯法100倍、适用于易于除气的小型器件检漏、若采用分子筛作为吸附阱吸气材料则可获得更好的使用效果。

6、其它方法

以上面介绍的是一些使用真空规进行检漏的主要方法，下面介绍几种简单方法。虽灵敏度较低，但作为粗检手段还是有不错的效果的。

（1）堵塞法

在进行抽气真空室壁上若发现较大的漏孔，可用真空泥、真空漆或虫胶堵住。但此方法之只用于大漏孔，对于小漏孔则由于真空度没有明显变化以及堵塞物难以干净地清除，只会使验证工作更加困难。

（2）夹层抽空法

在如果怀疑杜拉容器内胆漏气，则可在结构强度允许的情况下，在带有真空规的高真空抽气装置上接上内胆或夹层，用机械泵抽空夹层或内胆。观察高真空抽气系统上的真空规读数的变化以达到真空检漏的目的。

（3）吸嘴抽空法

在对真空镀膜仪的真空室进行排气时，若怀疑焊缝或某个部位有大漏孔，可将该部分用一个能与容器密封的吸嘴罩住，通过机械泵抽空吸嘴。若测试部分存在漏孔，则漏量便会大大减小，甚至小到可以忽略掉，因此会降低真空室中的压力，并可通过真空规明显地观察出来。若重新放入大气到吸嘴中，真空室中的又将迅速上升到原来的压力值。