在真空系统的检漏过程中，示漏物质的正确选择以及使用，是真空检漏中的重要问题。因而需对示漏物质的物理、化学性质以及检漏元件对示漏物质的敏感情况等有一个全面的了解。本文主要讲述关于真空设备的示漏物质的选择及其使用过程中应注意的事项。

1、防止示漏物质堵塞设备漏孔

在小漏率漏孔的检示过程中，需避免示漏物质堵塞设备漏孔。

2、示漏物质对真空系统的污染问题

示漏气体不会致使真空设备部件腐蚀或污染。

3、示漏物质的物理和化学性质对真空检漏的影响

（1）分层现象

若被设备未抽真空，在这样的情况下充入示漏气体的话，可能将导致气体的不均匀混合。重的气体沉在底下，轻的则将升到顶上。对于扩散率低、相对分子量大的气体则会有更为明显的分层作用。

克服分层作用的办法：使气体循环或者同时稀释气体和加入示漏气体。

（2）示漏气体的扩散率

设备采用检漏在使用吸嘴法时，漏孔的检示最好采用示漏气体具备较低的扩散率。但高扩散率的气体反应时间较短，能较快地通过漏孔和填充死空间，这一点对于喷吹法是非常重要的。

（3）示漏气体浓度

有时需稀释示漏气体，具体原因有：纯气太贵、低浓度的示漏气体可以得到稳定的反应和良好的线性；当没有要求需要很高的检漏灵敏度时，用较低浓度的示漏气体就可达到要求，而不必使用纯气体；稀释易燃性示漏气体，即使其成为混合物，可减少一些危险性，如燃烧、爆炸等（但这并不是绝对的，如H₂则正好与之相反）。

4、示漏物质在空气中的含量要小

空气中的示漏物质含量，将对检漏装置的本底及噪声产生直接的影响。

5、检漏装置的敏感元件对示漏气体的灵敏度

在真空设备的检漏的过程中，实质上就是通过敏感元件来对通过漏孔的示漏物质进行检测。因此，检漏装置的敏感元件对示漏气体的灵敏程度，也是示漏气体的一大主要选择依据。例如，卤素检漏装置的示漏物质一般采用氟里昂，若没有氟里昂，则可用如碘仿、四氯化碳等其它卤族化合物进行替代使用。