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pvd镀膜机中的标准漏孔的校准有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

通常情况下的标准漏孔漏率都是小于10⁻³Pa•L/s,它的校准是归属于小流量测量问题的范畴的,实验测定的方法有五种:质谱计比较法、压力容积法、放射性漏孔的a-射线活度测量法、恒定抽速的压力测量法以及已知流导的两端压降法。在pvd镀膜机中,常用的校准方法则是质谱计比较法和压力容积法,本文主要讲述这两种方法的原理:

1、质谱计比较法

假定用一个带氮室的已知漏率的漏孔来校准带氦室的薄膜漏孔,则质谱计比较法的校准过程如下:首先将氮质谱检漏仪调至氦峰上,关上两个阀门,记下输出仪表读数,打开其中一个阀门记下输出仪表读数,然后关上阀门,再打开另一个阀门,记下输出仪表另一个读数。则可根据测出数据计算其漏率。

2、压力容积法

一个抽空了的封闭容器如有漏孔,气体便通过漏孔进入容器内,此时容器中包含的气量将随时间变化而增加,在没有虚漏的情况下,则可根据气量变化量和测量的时间计算出漏孔的漏率。

如果是压力保持不变,体积变化,因为测量体积是随时间而变化的,那么压力和测量时间以及体积的变化量测出漏孔漏率,这就是所说的定压变容法。此方法操作困难,设备比较复杂,因此用得不多。

若在保持容器体积不变,测量压力变化的情况下,则需根据测量压力的变化量和测量时间以及体积计算出漏孔的漏率,这就是通常情况下采用的定容变压法。定容变压法即p~t曲线法或升压法,p~t曲线法的测量范围宽、操作简单且精度高。

pvd镀膜机使用标准漏孔的过程中需定时校准,此外,还要尽量避免在温度变化较大或振动大的环境中使用,避免产生振裂、炸裂的状况,还要避免灰尘、水蒸气、油脂及其它微粒进入漏孔造成漏孔堵塞的问题,因此,在暂时没用到它的时候,最好将漏孔贮存在真空干燥箱内,或用脱脂纱布包上,妥善保存起来。