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低真空系统的污染如何防治-广东振华真空镀膜设备

低真空装置如真空干燥、真空输送、真空过滤、真空脱气以及真空浸渍等要求具排气量大、工作压力高的低真空系统(抽气泵组)。这类抽气泵组常用往复式真空泵、罗茨泵、水环泵、油封式真空泵以及水蒸气喷射泵等真空泵作为主泵。低真空装置所用抽气泵组还需通过被抽气体湿度、清洁度以及其它特殊要求,来确定必要的干燥罐、除尘器等配置。

对于油封机械泵来说,它不适用于含有大量水蒸气气体的抽除。因为水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,水滴混合泵油,形成了悬浮液,这不仅会降低真空度,还会导致泵腔与转子生锈,致使密封面遭受破坏,降低泵的极限真空度。因此,机械泵的污染防治,要格外注重防止水蒸气的污染,主要措施有:

1、液氮冷阱可有效吸附水蒸气,还对机械泵油向高真空室的返流起有效的阻挡作用。

2、使用吸水性强的干燥剂,如P₂O₅、Al₂O₃、CaCl₂、分子筛等做成捕集阱来将水蒸气吸收掉;

3、通过油水分离器、离心式分离器或装油分离器处理混有水的机械泵油,机械泵油经过处理再流入泵中使用;

4、油封机械泵附加气镇装置,在70°C~80°C泵温时,可允许抽除气体所含有的水蒸气分压为1.3*10³Pa~4*10³Pa;

实验室及小型真空系统常用前两种方法,工业应用中则常用后两种方法。

低真空系统中,油封机械泵、往复泵不适用于含有灰尘的气体抽除。因为灰尘能对泵油造成污染、对泵腔内表面造成磨损,导致漏气,降低此真空系统的极限真空度。安装除尘器是灰尘防治的有效办法。