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真空镀膜机的围封封接介绍-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜机的围封封接为铝杆、钨杆、可伐杆等与玻璃(线膨胀系数相近)相封接的结构,在部件的封接前,要先清洗玻璃和金属杆,最好先进行烧氢退火处理,将应力和表面脱碳除掉。

为了保证真空镀膜机零部件封接质量,在设备封接时,要先烧玻璃珠在杆上面,其过程是:

将内径略大于金属杆的玻璃套管切成适当的长度,先用煤气加氧气的氧化焰均匀地烧金属杆,待形成一层适当厚度的氧化层在金属杆上后,再在金属杆上套个玻璃套管,从玻璃管的其中一端用氧化焰均匀地烧向另外一端,使金属杆上贴着玻璃管。此时,无氧铜呈砖红色,钼呈浅褐色,钨材料呈金黄色,可伐则呈鼠灰色。如果金属杆氧化不足或过度氧化,则在封接后,金属杆会呈金属本色亦或发白、发黑等,这样=种情况下,该材料无法保持良好的气密性。

金属杆烧好玻璃珠后,可再用玻璃与金属杆封接,形成单头或多头引线。“烧结法”用于引出线数目特别的情况下,该方法是通过研磨膨胀系数与金属杆相匹配的玻璃直至粉末状,经过120~150目筛过筛之后,预先将得到的粉末填入插有引出线的石墨模子中,连同模子放进高频炉中(也可采用马弗炉等),加热到800°C~900°C的温度范围,在这个温度下维持5~10min,再等待其自然冷却就完成了。