真空镀膜设备制造中经常需要设计和制造玻璃真空系统。镀膜机的真空系统的管道与真空零件的熔接、玻璃管道熔接,这些玻璃部件熔接工艺是通过氧-煤气火焰进行烧熔连接的。
镀膜机真空系统的玻璃零件和管道的制作材料一般是95号、DW-308、DW-211等类型的硬质玻璃。
在进行镀膜机真空系统的玻璃零件和管道的连接时,其操作一般是采用特制的氧煤气火焰手灯进行的:首先通过煤气火焰对玻璃的加工部位进行烘烤,避免玻璃内部的局部应力剧增导致炸裂,然后加入O₂,使尖而细的高温火焰从手灯中喷出,将想要连接的部位烧熔,熔烧接头在一起,直到整个接头都连在一起,再略微降温、吹气,使连接部位的玻璃均匀熔烧,得到的成形较良好,并通过略带氧气的煤气火焰进行退火操作,最后将氧气去掉,用煤气火焰进行烘烤退火。
真空镀膜设备的真空系统包含玻璃零件的有真空油扩散泵、活门、冷阱、球形容器等部件。在进行真空系统的设计时,要在密封性能得到保证的前提下安排零件的布局,此外,还要考虑到设备操作方便、外形的美观、整齐等。