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镀膜设备如何解决反扩散问题-广东振华真空镀膜设备

“返流现象”指的是泵体内的气体或蒸气流返回到镀膜设备真空室里的现象。而在使用扩散泵的真空镀膜机真空系统中,还有一个反扩散的问题。在扩散泵中气流不仅发生在抽气方向上,而且有少量的气体分子沿蒸气流的反方向流动,发生由低真空端向高真空端的扩散,这种现象叫做反扩散。

镀膜设备

反扩散的程度与镀膜设备扩散泵的压缩比有关,压缩比越大,反扩散越小,而压缩比又与气体质量有关。轻的气体,其“压缩比”要比重的气体小得多。对四级扩散泵,“压缩比”约为10⁶~10⁷,对高镀膜设备来说,反扩散的影响并不重要,但对超高真空系统就必须考虑反扩散对极限真空的限制。

镀膜设备如果采用扩散泵获得极高真空,就要将两个扩散泵串联起来,这样前级扩散泵降低了主扩散泵的出口压力,因而降低了主泵的反扩散。实验证明,用这种方法可以改善设备的极限真空。