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真空室获得极高真空有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

真空室要获得极高真空的前提是该系统需建立在超高真空技术之上。在压力非常低的情况下,真空系统维持泵的抽气作用是个重要问题。由于真空泵大多都是在超高真空范围内就开始降低抽速了,因此,真空系统许多真空泵在极高真空范围就已经停止或者大大地减小其抽真空的作用了。

真空室

因此,选用一些在压力非常低的情况下仍具实际抽速的真空泵,才是真空室能否真正获得极高真空环境的关键。

如油扩散泵等真空泵的抽速就不会减小,但是,这些类型的真空泵会因为工作介质材料放气等,导致得要获得低于真空泵的极限压力的工作压力变得非常困难。

为此,使用这类真空泵时,在利用它对真空室进行抽气的同时,也要考虑到真空泵的返流效应。对于真空泵的返流效应,常采用阱进行阻挡。