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真空镀膜设备在电子产品上的应用有哪些-广东振华真空镀膜设备

薄膜制作技术在电子产品上的应用主要包括集成电路和半导体镀膜、各种显示元件的镀膜、电子管以及传感器等领域。关于半导体以及各种显示元件的镀膜在此前已有相关介绍,本文主要讲述真空镀膜设备在电子管以及传感器领域的应用。

一、电子管

摄像管,应用于电视、摄像机。

1、光电导面,镀膜靶材为CdS₃,Se-As-Te, ZnSe, PbO,采用蒸发镀膜工艺成膜。

2、透明电导膜,镀膜靶材为SnO,In₂O₃,采用蒸发或溅射镀膜工艺成膜。

3、电极,镀膜靶材是Cr,Cu(Au),采用蒸发镀膜工艺成膜。

电子管

二、传感器

1、约瑟夫逊器件,应用于超级计算机。

(1)约瑟夫逊接合,镀膜靶材为PbO+In₂O,Pb,Nb,NbN, V₃Si,采用蒸发或溅射镀膜工艺成膜。

(2)绝缘膜,镀膜靶材为SiO₂,SiO,采用蒸发或溅射镀膜工艺成膜。

(3)电极,镀膜靶材为Au+Pb+In,Pb+Au+Pb,采用蒸发镀膜工艺成膜。

2、磁泡,应用于计算机存储器。

(1)传感器(泡),镀膜靶材为Fe-Ni,采用蒸发或溅射镀膜工艺成膜。

(2)绝缘膜,镀膜靶材为Al-Cu,采用蒸发镀膜工艺成膜。

(3)电极,镀膜靶材为SiO₂,采用溅射镀膜工艺成膜。

3、磁盘,应用于计算机存储器。

传感器,镀膜靶材为Fe,CO,Fe₂O₃,Fe₃O₄,采用蒸发或溅射镀膜工艺成膜。