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电子束蒸发镀膜设备有几种类型-广东振华真空镀膜设备

电子束蒸发镀膜设备的电子束轰击热源束流密度高、电子束能量密度高,可以在一个不太小的面积上达到10⁴~10⁵w/cm²的功率密度,因而可以用作高熔点(可以高达3000°C左右)的材料的蒸发,并且能有较高的蒸发速度。

电子束蒸发镀膜设备

该设备是依靠电子束轰击蒸发的真空蒸发镀膜技术,通过不同的电子束蒸发镀型式,又可分为直枪(皮尔斯枪)、环形枪、空心阴极电子枪和e型枪等几种类型。

1、直枪

作为一种轴对称的直线加速电子枪,直枪的电子从灯丝阴极发射、聚成细束,经阳极加速后打在坩埚中使镀膜材料熔化和蒸发。直枪的功率范围比较大,从几百瓦至几百千瓦的都有,有的可用于真空蒸发镀膜、也有一些是用于真空冶炼的。

缺点:蒸发镀膜的材料会致使枪体结构受到污染,影响运行的稳定性,同时膜层也会被发射灯丝上逸出的钠离子等沾污。

改进:最年来由西德Leybod-Heraeus公司研究,在电子束的出口处设置偏转磁场,井在灯丝部位制成一套独立的抽气系统而做成直枪的改进型式,不但彻底避免了灯丝对膜的污染,而且还有利于提高枪的寿命。

2、环型枪

该电子枪是由环形的阴极来发射电子束,而后通过聚焦和偏转,再打在坩埚中,达到蒸发金属材料的目的。该装置结构较简单。

缺点:功率和效率较低,通常只是一种应用于实验室的设备,当前在生产型的电子束蒸发镀膜设备中已经不复使用了。

3、空心阴极电子枪

该类型电子枪是利用低电压、大电流的空心阴极放电产生的等离子电子束作为加热源。

结构:用坩埚作为阳极,空心的钽管作为阴极。

4、e型电子枪

该类型电子枪即270°偏转的电子枪,此装置克服了直枪所存在的缺点,是目前的电子束蒸发镀膜设备用得较多的蒸发源之一。