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什么是三级溅射镀膜?-广东振华真空镀膜设备

三级溅射镀膜是在二极溅射镀膜的基础上加个能加热到2500C°的钨丝制成的热电子发射极来产生热电子。由于一般的二极溅射工作气压较高(1Pa左右)承受工作气体中的残留气氛(如氧气、水蒸气、氮气、二氧化碳等)的影响较大,这样会使胶层质量受到影响。为了能生成高纯度和具有确定结构的薄膜。可以采用非对称的交流溅射和偏压溅射进行镀膜。

三级溅射镀膜

其中非对称的交流溅射镀膜法是采用非对称的交变电压,当中的电阻作用是产生不对称的交流电。以振幅大的半周溅射阴极,并使薄膜沉积在被镀的基片上,以振幅小的半周通过离子轰击被镀基片,除去吸附气体而得到高纯膜。

三级溅射镀膜的电子在工作电场中被加速,产生电离作用。如果在电场中还放一个磁场,磁场会使电子运动的路径弯曲,从而增加了电子和气体分子的碰撞几率,这样也就增加了电离度。只要辅助热电子流的能量调整得合适,就可以得到最大的电离度,溅射速率上就可以增大,同时又不会使靶面过分地加热。

在三极溅射镀膜过程中,靶电流可以在电压和气压都不变的条件下,独立地作一定程度上的调整,这对于稳定炉内的工作情况是有利的。三极溅射镀膜技术可以在较低为靶电压和气压下运作,数百伏的靶电压和0.1~0.01Pa的气压下就能维持辉光放电效应。由于在三极溅射法的靶上施加高频电压存在一定的困难,所以通常只能镀导电的材料。