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溅射镀膜在半导体行业有哪些应用-广东振华真空镀膜设备

半导体产业主要由传感器、光电器件、半导体分立器件和集成电路等产品构成,其中,集成电路这一产品是半导体产业的最大组成部分,同时也是溅射镀膜的一大重要应用领域。

振华ZCL1612溅射镀膜机

在这信息技术飞速发展的时代,集成电路所要求的集成度越来越高,电路中单元器件不断缩小尺寸,元件由毫米级到微米级尺寸,再到纳米级尺寸。每个单元器件内部由衬底、介质层、导体层、保护层及绝缘层等部分组成,其中,导体层、保护层甚至介质层都要用到真空溅射镀膜工艺,溅射靶材是集成电路的制备的核心材料之一。

在半导体集成电路中,使用的溅射镀膜薄膜产品包括阻挡层薄膜、电极互连线膜、光刻薄膜、接触薄膜、电阻薄膜、电容器电极膜等,使用的溅射靶材主要包括钽靶、铜靶、钛靶、铝靶、钨钛靶等。