始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

为溅射系统建立合适的接地电位-广东振华真空镀膜设备

之前我们谈到了在各种工作条件下等离子沉积的合适工作压力,但没有提及所有真空处理设备的一个相当重要的方面。没有谈论的是接地电位以及如何正确地将真空溅射系统接地。

几乎所有的真空沉积系统都利用某种形式的高能电源来产生热量以进行热传递,并产生等离子体,电子或离子或能量传递的某些方面,从而实现从块状材料到薄膜形式的转换 。这种能量转换可以通过许多不同的装置,但在所有情况下,都需要在真空室内适当控制带电电位。必须出于安全原因以及出于操作性能和过程控制的原因来控制这种电位。在任何情况下,都必须注意确保为真空系统和所有相关电源都建立适当的接地网络。如果射频发生器和调谐网络是真空设备的一部分,则这一点尤其重要。没有适当的接地,就不可能消除反射功率。

理想情况下,这可以通过改变适当的接地桩来实现。如果可能的话,在初始设备安装过程中,应将直径为一英寸(1“)长为6~8英尺(6′-8’)的铜棒直接打入地面。铜棒应垂直于地打入土壤中,并在地上方延出约六到十二英寸(6“ -12”)。在安装接地桩之前,可能有必要在混凝土地板上钻一个孔,以便在开始安装前确定正确位置和铜棒。如果在清洗室中没有接地系统,只需将接地桩安装在靠近该室的设备机架中。

正确安装好接地桩后,将一根1英寸(1英寸)宽的铜编织带夹在棒的延出部分上,然后将它们连接到真空系统框架组件,真空系统腔室和电源框架以及可能接触高压的任何其他操作设备上。如果真空室有多个组件,例如门或可移动的顶板,请确保分别将每个组件正确接地。

如果无法在地面上直接提供适当的接地桩,例如在系统不位于地面上的情况,结构会导致这种可能性,物理位置也会导致这种可能性,等等,那么,最好的办法是把上述相同的编织接地带直接从各种设备连接到建筑物的供水管上。这不是理想的选择,但却是替代真正的接地桩的最佳选择。