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涡轮分子泵的特性-广东振华真空镀膜设备

水环式喷气真空泵组是由水环泵组成的真空泵组和喷气泵。它可以去除空气和其他非腐蚀性,水不溶性和无固体颗粒的气体,以及易燃,易爆,含水分和粉尘气体。抽气温度一般不超过40℃,最大真空度为1000 Pa。水环式喷气真空泵组的特点是可以提高水环式泵的极限压力和抽速,因为单个两级水环泵的极限压力为2000pa-4000pa,所以当压力高于4000Pa时,抽速通常不稳定,随着人口压力的降低,抽速会逐渐趋于零。水环式喷气泵不仅具有较低的极限压力,而且在压力较低时也具有较高的抽速。

涡轮分子泵如何工作?

水环气泵的工作原理是基于水环泵和气泵两种真空泵的工作原理。其工作原理如下图所示。工作过程如下:

启动水环泵以产生大型气泵运行所需的预真空。喷嘴的进气口和排气口之间存在压力差,空气通过喷嘴流入泵中。当压力差达到大气压的一半以上时(即喷嘴出口压力与大气压之比等于或小于0.528),梳状气体通过喷嘴的收缩部分被加速,空气在喷嘴的喉部达到声速,然后通过喷嘴的膨胀部分,获得进一步的加速度,最后,空气以超声波速度注入扩散器中。随着动能的迅速增加和压力的降低,在混合室中产生了更高的真空度。

在混合过程中,动量的交换,特别是扩压器收缩部分引起的冲击波,引起冲击波的损失,使混合气流的速度不断减慢。当进入扩散器的喉部时,速度下降到声速以下,然后通过扩散器的扩散部分,速度继续降低,压力继续增加。当达到气泵的排气压力,即水环泵的抽真空时,空气被水环泵带走并排放到大气中。

涡轮分子泵 是一种机械真空泵,可通过带有气体分子的高速旋转转子获得超高真空。工作压力范围为1pa-10-8pa,抽气速率一般在5000L / s以下。先进的泵可获得10-9pa的极限压力,泵速为10000r / min-50000r / min。这种泵的抽速范围很广,并且在9个f级之间具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵,但不能直接排出大气,因此需要配备前端泵,其主要性能(如极限压力和抽速) 与前端泵的抽气量,转数和类型有关。分子泵对较轻气体的泵送速度较大,组的抽速比空气抽速高20%。

在中国,用于救灾轮的分子泵的研究和生产正在迅速发展。在1960年代开发的卧式涡轮分子泵的基础上,快速开发了两种立式涡轮分子泵系列产品,即铣刀和扭叶。抽速范围为11ol / s,150L / s,45ol / s,55ol / s,60ol / s,120ol / s,1500L / s和3500l / s。中国制定了立式涡轮分子泵行业标准(JB / T 9125-95)和涡轮分子泵性能侧面试验方法国家标准(gb7774-87),并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。中国制定了立式涡轮分子泵行业标准(JB / T 9125-95)和涡轮分子泵性能侧面试验方法国家标准(gb7774-87),并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。

广东振华真空发现近十年来,由于轴承,高速旋转和数控加工技术的不断发展,世界涡轮分子泵的发展取得了长足的进步。抽速已从50L / s发展到25000l / S(日本)甚至40000 L / S(俄罗斯)。在各种真空泵中,分子泵是一种结构精确,技术要求高的泵。泵的动叶片和静叶片的几何形状与抽速有很大关系。需要特殊处理以确保刀片的尺寸和准确性。同时,要求转子具有良好的动平衡,动叶片应具有较高的强度以承受高速旋转产生的离心力,以保证泵的可靠运行。

分子泵由泵体内的中频电机直接驱动,涡轮转子为一体式结构。该泵对大分子气体具有较高的压缩比,中频电机置于前级空间,可获得高真空和超高真空进行清洁。其性能特点是:结构紧凑,工作压力范围宽,抽速稳定在10-1pa-10-7pa范围内。它运行稳定。由于采用了精密轴承,严格的动平衡过程和一系列减振措施,该泵振动小,噪音小,启动时间短,一般可在4min-15min内达到全抽速。标准化的法兰连接尺寸和垂直结构使其易于与真空系统连接。